ALD膜

  • 高k电介质(Al2O3、HfO2、ZrO2、Ta2O5、La2O3)
    晶体管栅极,DRAM电容器
    有机晶体管、石墨烯、石墨、纳米管、纳米线、分子电子器件
  • 导电栅电极(Ir、Pt、Ru、TiN、TaN)
  • 金属互连和衬垫(Cu、WN、TaN、WNC、Ru、Ir)
    用于铜互连和半导体通路晶体管栅极和存储器单元应用的金属扩散阻挡层,钝化层
  • 催化材料(Pt、Ir、Co、TiO2、V2O5)
    过滤器内部的涂层、膜、催化剂、燃料电池离子交换涂层
  • 纳米结构
    纳米结构和MEMS周围和内部的保形沉积
  • 生物医学涂层(TiN、ZrN、CrN、TiAlN、AlTiN)
    用于体内医疗装置和器械的生物兼容材料
  • ALD金属(Ru、Pd、Ir、Pt、Rh、Co、Cu、Fe、Ni)
  • 透明导电体(ZnO:Al,ITO)
  • UV阻挡层(ZnO、TiO2)
  • OLED钝化(Al2O3)
  • 固体润滑层(WS2)
  • 光子晶体(ZnO、ZnS:Mn、TiO2、Ta2N5)
    多孔氧化铝内部的涂层,倒置蛋白石
  • 抗反射光学滤波器(Al2O3、ZnS、SnO2、Ta2O5)
    Fabry-Perot、Rugte、触发器光学滤波器
  • 电致发光器件(SrS:Cu、ZnS:Mn、ZnS:Tb、SrS:Ce)
  • 处理层(Al2O3、ZrO2)
    蚀刻阻挡层、离子扩散阻挡层、用于磁性读取头的填充层
  • 光学应用(AlTiO、SnO2、ZnO)
    光子、纳米光子、太阳能电池、集成光学涂层、激光器、可变管芯
  • 传感器(SnO2、Ta2O5)
    气体传感器、pH传感器
  • 磨损腐蚀抑制层(Al2O3、ZrO2)