CN1供应各种类型的罐,这些罐在半导体工业中用来盛装用于ALD-和CVD-相关工艺的液体化学物质。

产品信息

产品类型

特点和优点

  • 容积:1-200升
  • 经EP处理的316L不锈钢主体
  • 最大的安全性和成本效益
  • 液压:300kPa
  • 泄露速率:低于2.0×10-9 mbar.l/秒

19升DLI罐

类别 规格
传输类型 用于LDS的DLI(直接液体注射器)
阀门类型 1/4’’气动膜阀
垫圈 Teflon或金属
入口/出口端口 1/4’’ 公VCR
加注口 1/4’’ 或1/2’’ 公VCR
吹扫阀 选配
液量传感器 选配

1升起泡器

19升DLI