原子层沉积/化学气相沉积
涂层溶液
- CN1有限公司是一家使用原子层沉积/化学气相沉积技术以合理的价格提供半导体金属和介电薄膜涂层溶液服务的快速供应商。
- 金属:钴、钌、钛、钽等
- 金属氧化物:氧化铝、二氧化钛、氧化锌等
- 氮化物:氮化钛、氮化钽等
- 厚度均匀性:< 3%
用原子-优质(8inch)涂覆PE原子层沉积-钴,均匀性(< 2%)
可提供晶片尺寸;2~8inch,根据客户需要(无图形晶片和有图形晶片)
原子-优质涂覆原子层沉积-钴膜
原子-优质涂覆原子层沉积-钌膜
原子-经典涂覆原子层沉积-氮化钽膜
原子-经典涂覆原子层沉积-氮化钛膜
原子-经典涂覆原子层沉积-二氧化锆膜
原子-经典涂覆原子层沉积-氧化铝膜