原子层沉积

原子-基本原理

紧密型反应器热原子层沉积

  • 系统规范
  • 紧密型原子层沉积模型
  • 热原子层沉积
  • 晶片尺寸:≤ 6″晶片
  • 工艺温度:最高250℃
  • 应用:氧化膜(氧化铝)等
  • 工艺中体积非常小

视图

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