• 产品

原子层沉积

Atomic Shell

热原子层沉积工艺

  • 系统规范
  • 反应器容积：100 cc ~ 500 cc
  • 过滤器尺寸：变量(0.5 µm~ )
  • 反应器加热：最高300℃

    （反应器器体：230℃以上）
  • 反应器旋转：直流电机驱动器
  • 转速：10 ~ 60 rpm