原子层沉积

原子层沉积膜

• 原子层沉积膜
• （氧化铝、二氧化铪、二氧化锆、五氧化二钽、氧化镧）
• 晶体管门、动态随机存取存储器电容器
• 有机晶体管、石墨烯、石墨、纳米管、纳米线、分子电子器件

• 导电栅电极
• （铱、铂、钌、氮化钛、氮化钽）

• 金属互连和衬垫
• （铜、氮化钨、氮化钽、碳氮化钨、钌、铱）
• 用于铜互连和半导体通孔晶体管栅极和存储单元应用的
  金属扩散阻挡层、钝化层

• 催化材料
• （铂、铱、钴、二氧化钛、五氧化二钒）
• 过滤器、膜、催化剂、燃料电池内的涂层离子交换涂层

• 纳米结构
• 纳米结构和MEMS周围和内部的保形沉积

• 生物医学涂层
• （氮化钛、氮化锆、氮化铬、氮化钛铝、氮铝化钛）
• 用于体内医疗装置和器械的生物相容性材料

• 原子层沉积金属
• （钌、钯、铱、铂、铑、钴、铜、铁、镍）

• 透明电导体
• （氧化锌：铝、氧化铟锡）

• 紫外线阻挡层
• （氧化锌、二氧化钛）

• OLED钝化
• （氧化铝）

• 固体润滑层
• （二硫化钨）

• 光子晶体
• （氧化锌、硫化锌:锰、二氧化钛、五氮化二钽）
• 多孔氧化铝内涂层，倒置蛋白石

• 抗反射和滤光器
• （氧化铝、硫化锌、二氧化锡、五氮化二钽）
• 法布里-珀罗、鲁格特、触发滤光器

• 电致发光器件
• （硫化锶:铜、硫化锌:锰、硫化锌:铽、硫化锶:铈）

• 处理层
• （氧化铝、二氧化锆）
• 蚀刻阻挡层、离子扩散阻挡器、磁性读取头的填充层

• 光学应用
• （氧化钛铝、二氧化锡、氧化锌）
• 光子学、纳米光子学、太阳能电池、集成光学涂层、激光、可变介电
  常数纳米层压板

• 传感器
• （二氧化锡、五氧化二钽）
• 气体传感器、pH值传感器

• 耐磨防腐层
• （氧化铝、二氧化锆）